(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Herstellung von Wafern für Halbleiterbauelemente und von Solarzellen[1] [Bis 27.01.2022: Halbleiterbauelementen und Solarzellen] einschließlich der zugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung stammt.
(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus indirekten Kühlsystemen und aus der Betriebswasseraufbereitung einschließlich Retentaten aus der Reinstwasseraufbereitung durch Membranverfahren.
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