(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Chipherstellung stammt, einschließlich
1. |
der dazugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung, |
2. |
der Maskenherstellung und der Teilereinigung, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist, und |
3. |
des betriebsinternen Recyclings von Wafern, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist. |
(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus
1. |
indirekten Kühlsystemen, |
2. |
der Aufbereitung von Betriebswasser, einschließlich Reinstwasser, sowie |
3. |
der Herstellung von Silizium-Einkristallen und dem Vereinzeln der Einkristalle zu Wafern. |
Dieser Inhalt ist unter anderem im Arbeitsschutz Office Professional enthalten. Sie wollen mehr?
Jetzt kostenlos 4 Wochen testen